株式会社エリオニクス

■【創業50年】世界一細い線が描ける電子ビーム描画装置メーカー
1975年創立以来、常に最先端の科学技術の進歩に貢献する装置作りを目指して電子ビームやイオンビームなどの技術を応用した超高精度、高精細装置を次々に開発し、ナノテクノロジーの研究用装置の最先端メーカーのポジションを築いております。
私たちが大切にしているのは、「ものづくりへの情熱」と「挑戦し続ける姿勢」。
私たちエリオニクスは常に他社に先駆けた装置開発を行っており、その中で世界最小の線を描く電子ビーム描画装置を開発しました。

※経済産業省の「地域未来牽引企業」にも選出。
※2014年の「グローバルニッチトップ100選」
※東京都ベンチャー技術大賞受賞　などその他多数受賞歴あり

【革新技術の開発に欠かせないナノテクノロジーを支える最先端の装置】
ICチップに刻まれる微細な回路パターンを描く電子ビーム描画装置。半導体製造になくてはならない装置であり、当社では3nm(ナノメートル)という世界一細い線を描ける電子ビーム描画装置を製造しています。
主力である電子ビーム描画装置、通称【ELSシリーズ】は、1997年に世界で初めて10nm描画を実現し、2010年に5nm保証、2018年には4nm以下と進化を続け、現在は世界一細い線を描くまでに至りました。一般的な生産用途では10nmで十分とされる超高精細描画の限界に今なお挑み続けています。

そしてこの電子ビーム描画装置の使用用途になりますが、昨今では量子コンピュータや量子ビット、センサ関連、バイオチップ、大容量通信機器(5G/6G)等を含めた最先端科学技術の研究開発の場でご利用いただいております。

【エリオニクスの強み】
微細加工部門では、電子ビーム描画装置に加えて、プラズマやイオンビームによるエッチング・成膜装置をラインナップ。計測分析部門では、SEMとして観察しながら三次元構造の解析を可能とする三次元粗さ解析走査電子顕微鏡と
世界で3社、日本では当社のみしか製造していないナノインデンテーション試験機と呼ばれる超微小押込み硬さ試験機を有しているのが、他社と異なる大きな特徴です。
そのため、自社の装置だけで半導体の簡単な前工程をある程度賄うことが可能なため、各装置を検討している研究者へ完成品をお見せすることができます。